FertigungsumgebungDie Herstellung von Mikro- und Nanoprodukten ist in hohem Maße von einer reinen Fertigungsumgebung abhängig. Dabei ist die reine und hygienische Fertigungsumgebung nicht nur notwendig, um hohe Wirkungsgrade zu erzielen, sie ermöglicht es erst spezifische Fertigungsprozesse durchzuführen und zu beherrschen. Im Bestreben nach geringen kontaminationsbedingten Ausschüssen müssen räumliche und technische Anforderungen aber auch rechtliche/normative Rahmenbedingungen während des Herstellprozesses erfüllt sein. Die gestellten Anforderungen sind dabei branchenspezifisch. Voraussetzung für eine reine Fertigung ist der Reinraum. Dieser muss den Anforderungen des Produktionsprozesses gerecht werden. Er erzeugt eine Barrierewirkung gegenüber der Umgebung und spült permanent im Reinraum entstehende luftgetragene Kontaminationen aus dem Reinraum. Die für die Fertigung bestimmter Erzeugnisse benötigte Klasse des Reinraums richtet sich nach den Reinheits- und Qualitätsanforderungen, die an das Produkt gestellt werden. Diese Vorgaben stammen oftmals aus Standards und Richtlinien von Normungsorganisationen wie ISO und DIN. Daraus ergibt sich zumeist die technische Gestaltung und Ausstattung eines Reinraums, darunter die Art der Strömungsführung (Reinraumtyp, Strömungsform), die Auswahl der Zuluft / Filtration (Qualität der Filter, Geschwindigkeit der Luftströmung) sowie das Handling (Bewegungsform, Zugriffslogik). | ||||