Reinraumtaugliches Equipment Design

Geräte und Anlagen, die für den Einsatz im Reinraum bestimmt sind, müssen hinsichtlich der Vermeidung luftgetragener bzw. sedimentierter Partikel, Airborne Molecular Contamination (AMC) sowie ihrer elektrostatischen Eigenschaften (ESD) präzise entwickelt sein. International gelten spezifische technische Anforderungen, wie z.B. die Luftreinheitsklasse, der PWP-Wert (Particles per Wafer and Pass), die AMC-Reinheit der Luft und Werkstoffe, der Strömungsparameter, die ESD-Eigenschaften sowie die Werkstoffauswahl.

Die Wirkungsweise reinen Equipments basiert auf der permanenten Versorgung mit reiner Luft und der Vermeidung von Kontaminationsquellen im Inneren des Equipments. Über die Luftversorgung sowie entsprechender Strömungsführung und Versperrung wird eine wirkungsvolle Barriere zur Abgrenzung der meist weniger reinen Umgebung geschaffen.

Das Fraunhofer IPA nutzt zur Strömungssimulation FLUENT (ANSYS). Mit dieser Software steht ein enormes Potenzial zur Simulation komplexer physikalischer Vorgänge zur Verfügung. Computational Fluid Dynamics (CFD) ermöglicht bereits in den frühen Anfangsphasen der Entwicklung eine präzise Gestaltung von reinraumgerechten Anlagen und Equipment. Aufwändige Prototypen zur schrittweisen Optimierung entfallen. Von Konstrukteuren erstellte Zeichnungen können direkt in die Simulationssoftware eingelesen und auch wieder für weitere Verwendungen exportiert werden.